2D&3D 彎曲度, 翹曲度, 玻璃厚度, 應力分析

~FLATSCAN
非接觸自動2D或3D測量所有反射表面,如晶圓、玻璃、金屬表面等的弓度、翹曲、表面輪廓及平面度,並通過軟體計算其薄膜應力

產品特性
高測量精度
非接觸式測量
可選擇2D或3D測量
近似任意大小的可測量面積
適用于高彎曲表面,如X射線反射鏡(多層膜反射鏡)、矽晶圓等
通過可以檢測更高的彎曲度

測量原理
垂直於樣品表面的入射光,經過表面反射後形成的反射角,會因表面輪廓的不同而產生變化。FLATSCAN正是依據測量點之間反射角的變化,通過軟體重新計算並構建了樣品表面輪廓,實現了全自動高精度的測量。
 
FLATSCAN適用於任意種類反射表面的,平整度、波紋度和彎曲(弓/翹曲)的非接觸式測量,如矽晶圓、鏡面、X射線反射鏡(多層膜反射鏡/Goebel鏡)、金屬表面、拋光的聚合物等等。

高精度,任意測量面積
FLATSCAN能夠提供很高的測量精度,其測量系統的解析度為0.1arcsec,測量精度1arcsec,對於200mm測量的可重複性在100nm以內,完全滿足廠家、質檢部門的需求。
 
另外,採用的測量原理還具備一個特點,即測量面積的無關性。因此,對於標準測量面直徑(200mm),幾乎可以任意擴展,而且對測量精度毫無影響。

更大的測量範圍,更高的工作距離
測量範圍是指一次掃描所能測量的最大箭頭高度(或者最小曲率半徑)。FLATSCAN擁有極大的測量範圍,這是同類測量產品(如條紋鐳射干涉儀)無法達到的。
 
FLATSCAN不僅可以用來檢測平面鏡,對於較大曲率的反射平面,如晶圓、X射線反射鏡、拋光過的塑膠製品等任意種類的反射表面都有很好的測量效果。而且,所採用光學測量原理與工作高度無關。因此,我們制定出更高工作距離的儀器,以適應使用者的不同需求。

自由選擇2D或3D測量
根據設備類型,使用者可以選擇單行掃描(2D)或者全方位3D測量。操作軟體能提供多種功能,用於測量結果的圖形和數位評估,如三維圖、剖面圖、測量記錄等等。

薄膜應力
對於薄膜、單層或者多層鍍膜的應力,軟體主要依據Fowkes的理論,通過檢測鍍膜前後,基板曲率半徑的變化量計算得到。比如在半導體行業或者其他應用領域,當反射表面被加工處理後(鍍膜或者去鍍膜),操作人員能夠利用FLATSCAN快速地對晶圓薄膜應力進行檢測。