M2260 NanoSilica 微粒子標準溶液

NanoSilica™ 微粒子標準溶液是由MSP Corporation製作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液,微粒子尺寸從18nm到200nm都可選擇,是市面上最理想、高品質的校正標準,適用於最新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統。

最先進的半導體檢查技術已經發展到小於30nm,以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統的校正,但新一代的檢查系統使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小於20nm的污染或缺陷,當UV光重覆打在PSL球形化粒子上,將影響到PSL球形化粒子的品質; 由於SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下擁有穩定的品質,因此SiO2微粒子是最佳的替代產品。.

NanoSilica™ 微粒子標準溶液是使用有專利的SiO2合成技術,可以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布,從目前最小的微粒子尺寸來看,NanoSilica™ 微粒子標準溶液是尺寸最均勻,適合做尺寸大小峰值的量測的工具。

NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標準溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標準單位的產品,加上ISO 9000與SEMI的認證,讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據。

NanoSilica™ 微粒子標準溶液使用15-mL滴定,讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的標籤皆標示產品編號、生產編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限,而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。

產品優勢

  • 尺寸大小分布均勻
  • NIST traceability 的尺寸大小
  • DUV及EUV的照射下擁有穩定的品質
  • 高濃縮度微粒子懸浮溶液

產品效益

  • 易於微粒子撒粒系統、晶圓表面污染/缺陷檢查系統或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值
  • 可避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性
  • 適合氣膠產生設備使用
  • 提供耐久校正標準給先進的檢測設備使用
  • 省錢而且耗用量少