MSP2300NPT 微粒子撒粒系統

MSP2300-Series Particle Deposition Systems (PDS™) 是使用全球最新撒粒技術的PSL/Process微粒子撒粒系統,可協助使用者隨時製作任何尺寸Polystyrene latex (PSL)球形化粒子標準片,提供晶圓表面污染/缺陷檢查系統校正使用,如KLA-Tencor, Applied Materials, TopCon, Hitachi ...等。

NPT (Nano Particle Technology) 系統提供以下功能:

  • 最小灑粒尺寸達 20nm
  • 單次撒粒設定: 最多12種不同PSL球形尺寸及最多50個不同大小Spots
  • 微粒子尺寸精度: ±2%(所撒微粒子尺寸 >50nm)  ; ±1.0nm (所撒微粒子尺寸 <50nm)
  • 撒粒方式: Full deposition and pattern deposition (spot, arc, and ring)
    特性:
  • Differential mobility analyzer (DMA) technology 提供準確的微粒子尺寸辨別與分類
  • 全自動 NIST traceable 挍正
  • 參數設定控制介面
  • 製程微粒子(Si, SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4, Ti, W, Ta, Cu, etc.) 的撒粒效果與PSL球形化粒子相當
  • 2300-NPT1 是手動放晶圓的機型,2300-NPT2 是搭配雙FOUP load ports及一組 ISO Class 1 mini-environment的機型,我們也提供同時使用200mm及300mm晶圓的機型。