Hyperion原子力奈米探針機台
Hyperion原子力奈米探針機台

Hyperion是Multiprobe所開發全世界最先進之奈米探針機台.主要應用為半導體樣品之電性故障分析. 其功能有掃描式電容顯微鏡 , Tapping mode表面形貌量測 , Pico current缺陷定位 , Pulsed IV量測 , C-V量測 , IV量測 , 高溫量測 , .... 等。  
特色︰
1. 專門針對10nm製程故障分析而故障分析而設計.
2. 探針掃描穩定度 : < 1nm / min
3. 不像SEM base之奈米探針機台 , 有電子光束破壞電性的問題 .
4. 快速找到故障位置 .
5. 更換樣品時間不到2分鐘 .
6. 有自動換針系統 .
7. 最多可使用8個探頭。
8. 氮氣充填系統 , 可避免探針氧化 .
9. 有CAD導航之功能 , 可快速找到要量測之位置 .
10. 樣品前置準備更容易. 
11. 準確的缺陷電性量測  .