科榮股份有限公司
微量氧氣分析儀 MX1系列
應用 :
● 半導體/LCD/鋰電池等製造工廠之微量氧氣濃度偵測  
● 氣體純化器出口端之微量氧氣濃度偵測     
● 氣體生產工廠之微量氧氣濃度偵測     
● 高純度氣體管路之評估

特色 :
1. 優異的製程監控穩定度
2. 氧氣濃度改變之快速偵測
3. 世界最低之偵測極限 (20ppt for MX1-A)
4. 內建校正氣體產生器,不須另外準備
5. 操作簡便,數值易於讀取
6. 內建使用高靈敏度之 HERSCH type galvanic cell  

規格
1. 相容氣體:N2, Ar, He, H2, Ne, CO, CH4, C2H4, C2H6, C3H6, C3H8....等.
2. 量測範圍 :
・MX1-A:0-1ppb~0-1,000ppb, 使用者可設定一個範圍
・MX1-S:0-0.1ppm~0-100ppm, 使用者可設定一個範圍
3. 最低偵測極限
・MX1-A:20ppt (0-1ppb range)
・MX1-S:1ppb (0-0.1ppm range)
4. 再現性 (準確度): ±2.0% F.S.以內