AutoSE 橢偏儀(多層膜膜厚及n,k值分析)

Auto SE多層膜厚分析的最佳利器!! (業界第一品牌)

1.光學常數 n,k 值分析
2.膜厚分析 (單層膜&多層膜)

3.能階分析 (Bnad gap)


機台優勢

1.自動化分析
2.Mapping 功能

3.軟體分析快速
4.多種Spot size選擇