四點奈米探針 for SEM

四點奈米探針

規格

XY 範圍 
粗定位
 ±3 mm in ±150 nm steps

細定位
≤1 μm in 10 nm* steps

Z 範圍
粗定位
±1.5mm in 150 nm steps

細定位
≤1 μm in 10 nm* steps

樣品尺寸
10mm × 10mm × 1mm

重量
≤1000g


特點:

此系統安裝於SEM平台,在次微米區域內量測四點電性
四組獨立探針都可3D控制